| Analyzátor plynů + QMG 421 |
- Quadrupólový analyzátor plynů Balzers
| Balzers BAK 600 |
- Balzers BAK 600 vysokovakuový napařovací systém
| Napařovací zařízení PLS 590 |
- Napařovací zařízení s elektronovým dělem 10 kW a odporovým zdrojem. Bezolejový čerpací stojan.








