PLS590
Pfeiffer Vacuum PLS590 vysokovakuové povlakovací zařízení.
Vysokovakuová napařovací komora ca 1m³ s elektronovým dělem Ferrotec EVM 8 a termickými zdroji a 2x turbomolekulárními vývěvami . Možno připojit vakuový systém dle specifikace procesu. Vestavba iontového zdroje možná. Řídící systém Vakuum servis dle požadavků zákazníka.










