Nejčastější otázky k použití různých typů vakuových vývěv

  1. Jaký typ vakuové vývěvy je nejvhodnější pro vysoké a ultravysoké vakuum (např. 10⁻⁶ až 10⁻¹⁰ mbar)? Pro vysoké a ultravysoké vakuum bez kontaminace uhlovodíky se nejčastěji používají turbomolekulární vývěvy (řada Pfeiffer HiPace). Tyto vývěvy dosahují extrémně nízkých tlaků a jsou ideální pro analýzu povrchů, polovodiče, hmotovou spektrometrii nebo výzkum v UHV prostředí. Potřebují předčerpání (obvykle rotační nebo suchou vývěvou).
  2. Kdy se používají rotační olejové (lamelové) vývěvy Pfeiffer DUO DuoVane nebo podobné? Rotační olejové vývěvy jsou univerzální pro střední až hrubé vakuum (od atmosféry až po ~10⁻³ mbar). Používají se v laboratořích, sušení, impregnaci, destilaci, vakuovém balení, helium leak detection a jako předčerpávací pumpy pro turbomolekulární nebo difúzní vývěvy. Výhoda: vysoká spolehlivost a nízká cena provozu.
  3. Pro jaké aplikace jsou vhodné suché (bezolejové) vývěvy – membránové, šroubové nebo scroll? Suché vývěvy (membránové, scroll, šroubové) se volí tam, kde nesmí dojít ke kontaminaci olejem – např. v analytické chemii, farmaceutickém průmyslu, potravinářství, polovodičích, výzkumu a aplikacích s čistým vakuem (např. filtraci, sušení citlivých materiálů). Membránové vývěvy Pfeiffer MVP jsou oblíbené pro malé laboratorní systémy.
  4. K čemu slouží difúzní vývěvy a kdy je vybrat místo turbomolekulárních? Difúzní vývěvy (např. Pfeiffer DIF nebo HSR) jsou ekonomickou volbou pro střední až vysoké vakuum (10⁻⁴ až 10⁻⁷ mbar) při velkých objemech. Používají se v průmyslových pecích, povlacích (PVD/CVD), metalurgii a velkých vakuových komorách. Jsou levnější než turbomolekulární, ale vyžadují olej a delší start-up čas.
  5. Kdy nasadit Rootsovy vývěvy? Rootsovy vývěvy Pfeiffer OKTA nebo HiLobe se používají jako booster pumpy v kombinaci s rotačními nebo suchými vývěvami. Zvyšují čerpací rychlost v rozsahu 10–0,1 mbar a jsou ideální pro velké vakuové systémy – např. vakuové pece, sušení dřeva, impregnaci, výrobu laminátů nebo rychlé vyčerpávání velkých komor.
  6. Pro jaké speciální aplikace jsou kryogenní (kryo) vývěvy vhodné? Kryogenní vývěvy (cryopumpy) dosahují ultravysokého vakua kondenzací a adsorpcí plynů na extrémně chladných površích (tekuté helium). Mají velmi vysokou čerpací rychlost, výborně čerpají vodní páry. Používají se ve velkých urychlovačích částic, vesmírných simulacích, povrchové analýze a tam, kde je potřeba velmi čisté vakuum bez pohyblivých částí.
  7. Jak vybrat vývěvu podle požadovaného vakua a aplikace?
  8. Může se jedna vývěva používat pro více různých aplikací? Ano, ale vždy záleží na požadavcích na čistotu, rychlost čerpání a mezní tlak. Například rotační olejová vývěva Pfeiffer DuoVane je velmi univerzální, ale pro čisté procesy (farmacie, polovodiče) je lepší přejít na suchou technologii.