Vícestupňové Rootsovy vývěvy
Výrobce: | Pfeiffer Vacuum |
Vícestupňové Rootsovy vývěvy multiroots.
Vakuum servis nabízí suché primární vývěvy konstrukce multiroots.
Tyto vývěvy z produkce Pfeiffer Vacuum se vyrábí v Annecy (dříve firma Alcatel Adixen).
Jsou určeny k získání bezolejového vakua od atmosférického tlaku ca E-3hPa v široké škále čerpacích rychlostí od 15m³/hod až po ca 3000m³/hod.
Vyrábějí se ve verzích pro čisté procesy - modely ACP 15, ACP 28, ACP 40 ACP 90 a pro prašné nebo korozivní procesy (CVD, Dry etch) -modely A4H nebo A4X.
Pro čerpání load/lock je vhodná verze A100L.
Uplatňují se zejména v polovodičovém průmyslu a v depozičních aparaturách.
Více informací najdete na stránkách:
https://www.pfeiffer-vacuum.com/global/en/products/vacuum-pumps/multi-stage-roots-pumps