Jsme hrdým partnerem společnosti scia Systems – vývojáře a výrobce špičkových zařízení pro ultra přesné zpracování povrchů pomocí pokročilých technologií iontového paprsku a plazmy.

scia Systems –From Nano to infinity

Společnost scia Systems se sídlem v německém Chemnitzu vyvíjí a vyrábí špičková zařízení pro ultra přesné zpracování povrchů pomocí pokročilých technologií iontového paprsku a plazmy. Systémy jsou určeny pro nanášení povlaků, leptání a čištění s nanometrovou přesností.

Společnost scia Systems je synonymem dokonalosti v nanometrovém měřítku. Od svého založení v roce 2013 se společnost scia Systems etablovala jako technologický lídr v oblasti zpracování tenkých vrstev. Zařízení je známé svou spolehlivostí, flexibilitou a výkonem, přizpůsobeným specifickým potřebám průmyslu a výzkumu.

 

Produkty

Společnost scia Systems nabízí širokou škálu zařízení pro iontové a plazmové procesy, která našim zákazníkům umožňují navrhovat nové a inovativní produkty s jedinečnými funkčními vlastnostmi. Stroje vyrobené společností scia Systems byly úspěšně nasazeny v různých high-tech odvětvích po celém světě, včetně mikroelektroniky, MEMS a přesné optiky.

Kromě samostatných systémů nabízí společnost scia Systems také clusterová řešení. Díky flexibilitě clusterů scia si můžete vybrat, zda chcete více komor určených pro jeden proces pro nejvyšší kapacitu, nebo kombinovat různé procesní technologie pro nejvyšší flexibilitu procesů a výzkumu i vývoji.

  • scia Cluster 200 (Link)

Výhody

  • Procesní řešení šitá na míru v kompaktním a modulárním provedení
  • Nejvyšší výkon s maximální přesností
  • Vlastní technologie a vývoj procesů
  • Globální prodejní a servisní síť
  • Klíčové komponenty jsou vyvíjeny a vyráběny samotnou společností scia Systems.

 

Apikace

  • Výroba elektroniky:
    Coating | Etching | Cleaning pro MEMS (Link)
  • Řešení pro optický průmysl s využitím iontového paprsku a plazmových technologií (Link)
  • Řešení pro senzory a další oblasti (Link)

Technologie

  • Ion Beam Etching (Link)
  • Ion Beam Trimming (Link)
  • Ion Beam Sputtering (Link)
  • Magnetron Sputtering (Link)
  • Electron Beam Evaporation (Link)
  • Dry Cleaning (Link)
  • PECVD/RIE (Link)